ประสิทธิภาพการโหลดและการประหยัดพลังงานของพื้นที่สะอาด

โดยทั่วไปแล้ว การใช้พลังงานของระบบฟอกอากาศจะสูงกว่าระบบปรับอากาศทั่วไปมาก เหตุผลก็คือระบบเหล่านี้มีคุณลักษณะของโหลดที่แตกต่างกัน สำหรับห้องคลีนรูม โดยเฉพาะห้องเซมิคอนดักเตอร์คลีน คุณลักษณะของโหลดมีดังนี้ เนื่องจากมีปริมาณอากาศเสียจำนวนมาก จึงต้องใช้ปริมาณอากาศบริสุทธิ์จำนวนมากเพื่อบำบัดอากาศบริสุทธิ์ ปริมาณอากาศที่จ่ายเข้าจำนวนมาก ความสามารถในการขนส่งและช่องพัดลมสูง อุปกรณ์การผลิตผลิตความร้อนจำนวนมากและใช้พลังงานในการทำความเย็นมาก ผลรวมของโหลดทั้งสามนี้โดยปกติจะอยู่ระหว่าง 70 ถึง 95 เปอร์เซ็นต์ของโหลดทั้งหมด ดังนั้น มาตรการประหยัดพลังงานของระบบฟอกอากาศจึงควรรวมถึงการลดปริมาณอากาศบริสุทธิ์ (ลดปริมาณอากาศเสีย) การควบคุมปริมาณอากาศผลพลอยได้ (การกำหนดจำนวนการแลกเปลี่ยนอากาศที่เหมาะสมโดยใช้การย้อนกลับอย่างเต็มที่) ปริมาตรอากาศ การเลือกเครื่องปรับอากาศและทำความสะอาดที่มีประสิทธิภาพต่ำและสูง รวมถึงปริมาณอากาศที่ปรับได้ เริ่มต้นด้วยพัดลมและอื่นๆ